帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)

產(chǎn)品介紹：

名稱：6英寸可編程勻膠機(jī)

型號(hào)：HC160PE

應(yīng)用： HC160PE可編程勻膠機(jī)是在HC160SE的基礎(chǔ)上，增加一路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)，滿足小批量實(shí)驗(yàn)制樣的需求。被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm（6英寸）或?qū)?yīng)的方片，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。

產(chǎn)品概述：

帶自動(dòng)點(diǎn)膠6英寸安賽斯可編程勻膠機(jī)制膜的原理：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高質(zhì)量薄膜涂層的制備。

HC160PE可編程勻膠機(jī)，被設(shè)計(jì)為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm或?qū)?yīng)的方片，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。該型號(hào)勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

??HC160PE勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，程控操作，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì)，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 設(shè)計(jì)緊湊，可輕松放置在手套箱內(nèi)使用；

● HDPE高分子材料旋涂?jī)?nèi)腔，耐腐蝕；采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動(dòng)；

● 4.3英寸彩色觸屏控制，易學(xué)易用；可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示；

● 采用高級(jí)PLC程序控制，旋涂速度、旋涂時(shí)間、加速度等工藝參數(shù)可編程，實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

● 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；

● 轉(zhuǎn)速、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作。

● 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

● 帶真空檢測(cè)安全互鎖，當(dāng)真空度不足時(shí)，設(shè)備停止運(yùn)行，防止飛片；且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉；

● 帶蓋子檢測(cè)安全互鎖，當(dāng)沒有關(guān)好蓋子時(shí)，設(shè)備停止運(yùn)行，確保操作安全；且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉；

● 帶排廢接口；

● 帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)；

技術(shù)參數(shù)：

● 適用晶元尺寸范圍：直徑5~160mm；

● 旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

● 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

● 最大旋涂時(shí)間：3000s；旋涂時(shí)間精度：0.1s；

● 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔采用獨(dú)特的凹面防濺設(shè)計(jì)；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

● 電源輸入：AC200-230V

自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng)參數(shù)：

● 流量范圍：0.006-1340毫升/分鐘；

● 流量精度：＜0.5%；

● 轉(zhuǎn)速范圍：0.1～350（轉(zhuǎn)/分鐘）；

● 轉(zhuǎn)速分辨率：0.1（轉(zhuǎn)/分鐘）；

● 電源電壓：AC 220V±10%,50Hz/60Hz（標(biāo)配）；

● 功 率：小于40W；

● 外控接口：外控輸入電平5V、12V(標(biāo)配)、24V（選配）；

● 外控?cái)?shù)字通訊接口：RS485通訊，支持MODBUS協(xié)議；

● 環(huán)境溫度：0 ～ 40℃ ；

● 相對(duì)濕度：＜80%；

● 防護(hù)等級(jí)：IP31；

● 機(jī)箱尺寸：（長(zhǎng)×寬×高）255mm×181mm×198mm；

● 重 量：4.7KG。

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